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在半導(dǎo)體制造、科研實驗和工業(yè)生產(chǎn)中，精確的真空測量至關(guān)重要。日本佐藤真空（SATOVAC INC.）憑借其約90年的專業(yè)技術(shù)積累，推出的PHIL皮拉尼真空計系列，以其的性能和可靠的穩(wěn)定性，成為全球真空測量領(lǐng)域的重要選擇。
真空技術(shù)作為支撐宇宙開發(fā)、半導(dǎo)體、平板顯示器、能源、醫(yī)療等廣泛產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)技術(shù)，其測量精度直接關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量與科研進(jìn)展。
佐藤PHIL皮拉尼真空計正是基于這一需求而設(shè)計的精密測量儀器，采用先進(jìn)的熱傳導(dǎo)原理，為用戶提供精準(zhǔn)、可靠的真空壓力測量解決方案。
皮拉尼真空計的核心原理基于氣體分子的熱傳導(dǎo)特性。其基本構(gòu)造包含金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一根白金細(xì)線，兩端連接電極。
當(dāng)電流通過白金細(xì)線時，細(xì)線會發(fā)熱，其熱量會通過三種方式被帶走：氣體分子碰撞白金細(xì)線（Qg）、熱輻射（Qr）以及通過固體熱傳導(dǎo)（Qs）。
在平衡狀態(tài)下，滿足以下公式：
Q = I2R = Qg + Qr + Qs
當(dāng)氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時，Qg可以通過自由分子的熱傳導(dǎo)表示為：
Qg = αΛπda(T－T?)p
其中T和T?分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度，P為氣體壓力，a是細(xì)線長度。
通過保持T和T?一定，可以將固體熱傳導(dǎo)和熱輻射視為常數(shù)，從而建立起電流與壓力之間的直接關(guān)系，實現(xiàn)真空壓力的精確測量。
佐藤PHIL皮拉尼真空計提供多種型號，滿足不同應(yīng)用場景和精度要求。以下是主要型號的技術(shù)參數(shù)對比：
從表中可以看出，佐藤PHIL皮拉尼真空計系列覆蓋了從大氣壓到高真空（1×10?～1.3×10?1Pa） 的廣泛測量范圍，能夠滿足大多數(shù)工業(yè)應(yīng)用的需求。
數(shù)字型號提供更豐富的顯示方式和擴(kuò)展功能，而模擬型號則以其簡潔可靠的特點(diǎn)適用于基礎(chǔ)應(yīng)用場景。
佐藤PHIL皮拉尼真空計融合了多項創(chuàng)新技術(shù)，使其在真空測量領(lǐng)域脫穎而出：
PG-D5A型號具備6個量程自動切換功能，測量范圍從1×10?Pa（接近大氣壓）至1.3×10?1Pa。
這種寬范圍覆蓋能力使得用戶無需在不同真空階段更換測量設(shè)備，大大提高了工作效率。
數(shù)字型號采用數(shù)字和條形圖雙重顯示方式，使壓力信息以易于理解的方式呈現(xiàn)。
用戶可以同時讀取精確的數(shù)字值和直觀的趨勢圖，便于快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)。
PG-D5A和PG-20B等型號配備了通信功能和BNC輸出等擴(kuò)展功能，可用于各種控制、FA系統(tǒng)等多種用途。
PG-20B可以將六個設(shè)定點(diǎn)自由分配給觸點(diǎn)輸出，并配備了可選的擴(kuò)展功能，如3ch傳感器、通信功能和BCD輸出。
模擬型號PG-2BM采用固態(tài)電路設(shè)計，即使在電壓波動（90至110V）的情況下也能保持穩(wěn)定運(yùn)行。
這種設(shè)計提高了設(shè)備在工業(yè)環(huán)境中的適應(yīng)性，確保在不太理想的電力條件下仍能提供準(zhǔn)確測量。
所有型號均采用標(biāo)準(zhǔn)化測頭設(shè)計，安裝φ15mm測頭口，便于集成到各種真空系統(tǒng)中。
先進(jìn)的溫度補(bǔ)償技術(shù)有效減少了環(huán)境溫度變化對測量精度的影響，確保讀數(shù)的準(zhǔn)確性。
佐藤PHIL皮拉尼真空計憑借其性能和可靠性，在多個關(guān)鍵工業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用：
在半導(dǎo)體前端處理、液晶顯示面板制造過程中，精確的真空控制是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。
皮拉尼真空計用于監(jiān)控濺射、CVD、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)的真空度，確保工藝條件穩(wěn)定可靠。
佐藤真空技術(shù)為基礎(chǔ)科學(xué)的研究開發(fā)做出貢獻(xiàn)。在表面物理、核能、航天等研究領(lǐng)域，皮拉尼真空計提供精確的真空測量，為科學(xué)研究提供可靠數(shù)據(jù)支持。
在醫(yī)療衛(wèi)生、化工領(lǐng)域，特別是冷凍干燥、滅菌工藝中，皮拉尼真空計用于監(jiān)控工藝過程中的真空度，確保產(chǎn)品質(zhì)量和工藝重現(xiàn)性。
在真空冶金和機(jī)械工業(yè)中，皮拉尼真空計適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量，提供快速、可靠的真空度監(jiān)測。
在能源領(lǐng)域和航空航天行業(yè)中，真空技術(shù)對產(chǎn)品性能和可靠性至關(guān)重要，皮拉尼真空計在這些領(lǐng)域提供必要的測量保障。
選擇合適的真空計對于確保測量效果至關(guān)重要。以下是一些關(guān)鍵選型考慮因素：
根據(jù)應(yīng)用場景確定需要的測量范圍：
電源穩(wěn)定性差的環(huán)境：選擇具有固態(tài)電路設(shè)計的PG-2BM，可在電壓波動下穩(wěn)定運(yùn)行
不同氣體的熱導(dǎo)率不同，因此在測量的時候要刻度上需要校對。對于特殊氣體環(huán)境，需要根據(jù)氣體類型進(jìn)行校準(zhǔn)，以獲得準(zhǔn)確測量結(jié)果。
正確的操作和維護(hù)對于保證真空計的長期穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要：
確保測頭正確安裝到φ15mm測頭口，保證良好密封
為設(shè)備提供穩(wěn)定、符合要求的電源（根據(jù)型號提供AC100V或AC100V~240V）
保證設(shè)備周圍有足夠的散熱空間，避免高溫環(huán)境影響測量精度
定期檢查測頭和相關(guān)連接部件，確保無泄漏
保持設(shè)備清潔，防止灰塵積累影響散熱
對于關(guān)鍵應(yīng)用，建議定期校準(zhǔn)以確保測量精度
讀數(shù)不穩(wěn)定：檢查電源穩(wěn)定性，確認(rèn)測頭安裝牢固
測量偏差：檢查系統(tǒng)是否存在泄漏，確認(rèn)測頭是否需要清潔
通信故障：檢查連接線纜，確認(rèn)通信設(shè)置是否正確
隨著半導(dǎo)體、新能源、航空航天等高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對真空測量技術(shù)的需求持續(xù)增長：
真空計正朝著智能化、網(wǎng)絡(luò)化方向發(fā)展，集成更多傳感器和數(shù)據(jù)通信功能，如PG-D5A和PG-20B已具備的通信功能和BCD輸出。
基于約90年的專業(yè)技術(shù)積累，佐藤真空繼續(xù)磨練真空泵、真空計測器、產(chǎn)生各種真空部件的組件技術(shù)，致力于提高產(chǎn)品的精度和可靠性。
真空計的應(yīng)用正從傳統(tǒng)工業(yè)領(lǐng)域向醫(yī)療、食品、環(huán)境監(jiān)測等新領(lǐng)域擴(kuò)展，佐藤真空將其技術(shù)應(yīng)用于所有真空裝置群。
佐藤PHIL皮拉尼真空計系列以其的技術(shù)性能、廣泛的產(chǎn)品適應(yīng)性和可靠的使用壽命，在全球真空測量領(lǐng)域確立了其重要地位。
從基礎(chǔ)模擬型號到數(shù)字型號，從半導(dǎo)體制造到科研實驗，佐藤產(chǎn)品都能提供精準(zhǔn)、高效的真空測量解決方案。
隨著工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，佐藤真空將繼續(xù)秉持創(chuàng)新精神和質(zhì)量至上的理念，利用多年的經(jīng)驗運(yùn)用「真空的匠的技能」，制作顧客「想長時間持續(xù)使用」的產(chǎn)品。
為全球客戶提供更加優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，助力各行業(yè)實現(xiàn)更高效、更精確的真空過程控制。
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