在半導(dǎo)體和液晶制造的無塵世界中，一粒微塵就可能造成數(shù)百萬的損失，而ULVAC愛發(fā)科的密閉式電機羅茨泵正是這些產(chǎn)業(yè)的守護者。

在現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)中，真空技術(shù)是半導(dǎo)體、液晶制造、精密化工等領(lǐng)域的核心支撐。羅茨泵，作為中真空范圍的關(guān)鍵設(shè)備，其性能直接關(guān)系到整個真空系統(tǒng)的效率和穩(wěn)定性。

日本ULVAC愛發(fā)科作為真空技術(shù)的企業(yè)，其采用密閉式電機設(shè)計的羅茨泵，憑借獨特的技術(shù)優(yōu)勢和的可靠性，在制造領(lǐng)域占據(jù)了重要地位。

01 創(chuàng)新原理：密閉式電機的技術(shù)突破

ULVAC愛發(fā)科羅茨泵采用的密閉式電機，實質(zhì)上是一種屏蔽電機技術(shù)，通過封閉的設(shè)計實現(xiàn)了革命性的突破。

傳統(tǒng)真空泵的電機通常通過軸封與真空環(huán)境隔離，但這些機械密封件長期使用后難免會出現(xiàn)磨損，導(dǎo)致潤滑油泄漏，污染真空環(huán)境和工藝產(chǎn)品。

ULVAC的密閉式電機設(shè)計解決了這一行業(yè)痛點。它通過采用屏蔽電機，消除了空氣/真空機械密封，使得電機與泵腔之間隔離。 這種設(shè)計可以在清潔的環(huán)境中使用，不用擔(dān)心漏油問題。

密閉式電機的核心技術(shù)在于其特殊的絕緣和冷卻系統(tǒng)。電機內(nèi)部線圈采用專門的絕緣材料，能夠抵抗油蒸汽和化學(xué)氣體的侵蝕，確保在苛刻環(huán)境下的長期穩(wěn)定運行。

與普通電機相比，這種設(shè)計還顯著降低了故障風(fēng)險和維護需求，為連續(xù)生產(chǎn)工藝提供了可靠保障。

02 產(chǎn)品系列：全面滿足多樣化需求

ULVAC愛發(fā)科羅茨泵擁有多個產(chǎn)品系列，每個系列都針對特定的應(yīng)用場景和需求而設(shè)計，展現(xiàn)了其技術(shù)的全面性和適應(yīng)性。

PRC系列是ULVAC的明星產(chǎn)品，專為對清潔度要求特別高的半導(dǎo)體和液晶制造工藝而設(shè)計。 該系列包括PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A和PRC-018A等多種型號，大抽速從280立方米/小時到1500立方米/小時不等。

PRC系列采用屏蔽式三相異步電動機，功率從0.75千瓦到5.5千瓦不等，全部采用水冷冷卻方式，確保了高效散熱和穩(wěn)定運行。

PMB系列則是ULVAC的通用型羅茨泵，具有更廣泛的適用性。 該系列可以選擇表面處理或大氣壓驅(qū)動型，甚至可以在空冷下運轉(zhuǎn)，提供了更大的靈活性。

PMB系列采用陽極氧化鋁表面處理，具有高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性，可有效防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕。

NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合設(shè)計的，其特點是腔體內(nèi)沒有潤滑油，即使面對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。

該系列選用比標準電機容量大一級的電機，實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。

03 性能特點：技術(shù)優(yōu)勢解析

ULVAC愛發(fā)科密閉式電機羅茨泵具有多項性能優(yōu)勢，使其在工業(yè)應(yīng)用中表現(xiàn)。

無油設(shè)計是ULVAC羅茨泵的核心優(yōu)勢之一。 由于泵殼室內(nèi)沒有潤滑油，即使面對水蒸氣、溶劑等蒸汽也能發(fā)揮穩(wěn)定的性能。 這一特性使得ULVAC泵在化工、鍍膜等對油污染敏感的應(yīng)用中尤為重要。

耐腐蝕性是另一大亮點。 主要部件均采用陽極氧化鋁處理，表面硬度高，耐腐蝕性能優(yōu)異，可防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕。 也可以根據(jù)實際需要選擇不進行表面處理的型號。

大氣壓驅(qū)動能力通過安裝變頻器實現(xiàn)，可以在整個壓力范圍內(nèi)運行，大幅縮短排氣時間。 由于可與低真空泵同時啟動，與標準型相比，能有效縮短排氣時間。

ULVAC羅茨泵還采用封閉式電機設(shè)計，特別是PRC系列，通過采用屏蔽電機，消除了大氣/真空的機械密封，用戶可以在干凈的環(huán)境中使用，不用擔(dān)心漏油問題。

靈活的配置選項滿足了不同應(yīng)用場景的需求。PRC系列提供標準型、X型和F型等多種型號，分別適用于普通氣體排氣、想抑制水分吸附對極限壓力影響的環(huán)境，以及腐蝕性氣體、可燃氣體和氧化性氣體等苛刻條件。

04 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛工業(yè)場景的真空解決方案

ULVAC愛發(fā)科密閉式電機羅茨泵憑借其性能，在多個工業(yè)領(lǐng)域找到了用武之地。

在半導(dǎo)體和液晶顯示器制造過程中，ULVAC的PRC系列羅茨泵發(fā)揮著不可替代的作用。 其無油蒸汽特性防止了產(chǎn)品污染，封閉式電機設(shè)計確保了生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。

真空鍍膜應(yīng)用，包括氣相沉積、濺射和離子鍍等工藝，都離不開ULVAC羅茨泵的支持。 在這些過程中，羅茨泵協(xié)助創(chuàng)造并維持所需的高真空環(huán)境，確保鍍膜質(zhì)量均勻一致。

在化工和制藥行業(yè)，ULVAC羅茨泵同樣廣泛應(yīng)用，特別是在真空干燥、冷凍干燥和真空脫氣等工藝中。 其耐腐蝕設(shè)計能夠應(yīng)對各種化學(xué)蒸汽，確保長期穩(wěn)定運行。

分析設(shè)備和泄漏測試系統(tǒng)中也能見到ULVAC羅茨泵的身影。 在這些精密設(shè)備中，羅茨泵提供快速、可靠的真空環(huán)境，保證測試結(jié)果的準確性。

熱處理爐、熔煉爐以及氣體置換、填充、真空絕熱等應(yīng)用也都是ULVAC羅茨泵的傳統(tǒng)優(yōu)勢領(lǐng)域。 其高可靠性和穩(wěn)定性確保了這些工業(yè)過程的順利進行。

05 技術(shù)規(guī)格：核心參數(shù)詳解

ULVAC愛發(fā)科各系列羅茨泵都有其特定的技術(shù)規(guī)格，滿足不同應(yīng)用場景的需求。

以PRC系列為例，不同型號的性能參數(shù)有所區(qū)別：

PRC-003A的大抽速在50Hz情況下為280立方米/小時，大吸氣壓力為1.2×103Pa，極限壓力為4.0×10-1Pa。

PRC-006A的大抽速在50Hz情況下為500立方米/小時，大吸氣壓力為1.3×103Pa，極限壓力為6.7×10-1Pa。

PRC-012A和PRC-018A在50Hz情況下的大抽速分別達到1000立方米/小時和1500立方米/小時。

在電機規(guī)格方面，PRC系列采用屏蔽式三相異步電動機。 PRC-003A配備0.75千瓦（2極）電機，PRC-006A配備2.2千瓦（2極）電機，PRC-012A和PRC-018A則分別配備3.7千瓦和5.5千瓦的2極電機。

冷卻系統(tǒng)對于羅茨泵的穩(wěn)定運行至關(guān)重要。PRC系列采用水冷方式，冷卻水溫度要求在5～30℃之間。 PRC-003A和PRC-006A的冷卻水量分別為2升/分鐘和3升/分鐘。

外形尺寸和重量也是設(shè)備選型時需要考慮的因素。PRC-003A的外形尺寸為296×575×260毫米，重量為51公斤；而大的PRC-018A尺寸為406×989×340毫米，重量達到150公斤。

06 選型指南：如何選擇合適的羅茨泵

面對ULVAC豐富的產(chǎn)品線，如何選擇合適的羅茨泵成為用戶關(guān)注的重點。以下是一些選型的關(guān)鍵考慮因素：

氣體類型是首要考慮因素。對于普通氣體排氣，可選擇標準型號；對于腐蝕性氣體、可燃氣體和氧化性氣體，則應(yīng)選擇表面處理并使用氟油的F型號。

抽速要求直接決定了泵的型號大小。根據(jù)應(yīng)用場景的大氣體負載，選擇具有相應(yīng)抽速的泵型。PRC系列從280立方米/小時到1500立方米/小時的抽速范圍，可以滿足大多數(shù)應(yīng)用需求。

極限壓力要求也是一個關(guān)鍵因素。PRC系列的極限壓力在4.0×10-1Pa到6.7×10-1Pa之間，確保泵在高效區(qū)內(nèi)運行。

安裝環(huán)境同樣不可忽視。根據(jù)現(xiàn)場空間選擇適合的安裝方式，并考慮冷卻方式的選擇——水冷或空冷，不同冷卻方式對配套設(shè)施的要求不同。

特殊需求也不容忽視。如需要大氣壓驅(qū)動，應(yīng)選擇帶變頻器的型號；如對清潔度有高要求，則應(yīng)選擇PRC系列等專用型號。

07 維護保養(yǎng)：確保長期穩(wěn)定運行

正確的使用和定期維護是保證ULVAC愛發(fā)科羅茨泵長期穩(wěn)定運行的關(guān)鍵。用戶需遵循一系列操作規(guī)范，以充分發(fā)揮設(shè)備性能。

油品管理是維護的重要一環(huán)。雖然羅茨泵本身是無油的，但與之配套的輔助泵可能需要使用油品。 應(yīng)定期檢查油位和油質(zhì)，按推薦周期更換潤滑油。PRC系列通常使用ULVOIL R-42礦物油，也可根據(jù)特殊需求選擇氟油。

冷卻系統(tǒng)維護對于水冷型羅茨泵至關(guān)重要。應(yīng)確保冷卻水流量和水溫在要求范圍內(nèi)——PRC系列的冷卻水溫度要求在5～30℃之間，流量根據(jù)型號不同從2升/分鐘到3升/分鐘不等。

定期檢查和清潔是預(yù)防性維護的基礎(chǔ)。定期清潔泵外部，檢查是否有異常振動或噪音。檢查各連接部位是否有松動，密封部位是否有泄漏。

對于在高負荷條件下運行的泵，如在高吸入壓力下連續(xù)運行且經(jīng)常在大氣和真空中反復(fù)排氣的情況，建議加強監(jiān)控和維護頻率，以保護泵并延長其使用壽命。

長期停用時的保護措施也不可忽視。長期不使用時，應(yīng)排凈冷卻水，特別是冬季防止凍裂；對泵進行必要的防銹處理；定期盤車，防止部件粘連；恢復(fù)使用前應(yīng)進行全面的檢查和測試。

從半導(dǎo)體芯片的微觀世界到大型工業(yè)熱處理設(shè)備，ULVAC愛發(fā)科密閉式電機羅茨泵以其的性能和可靠性，為現(xiàn)代制造業(yè)提供了堅實的真空技術(shù)基礎(chǔ)。

隨著新材料、新工藝的不斷涌現(xiàn)，ULVAC愛發(fā)科將繼續(xù)推動羅茨泵技術(shù)的創(chuàng)新，在追求更高清潔度、更高效率、更高可靠性的道路上不斷前行，為制造業(yè)的發(fā)展提供強有力的支持。