日立 HF5000 電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡
日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

特點
標配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動校正功能）
搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿
支持高立體角EDX的對稱配置（對稱Dual SDD）
采用全新構(gòu)

產(chǎn)品型號：HF5000
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-08-08
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HITACHI日立

電子顯微鏡原子力顯微鏡高效液相色譜儀紫外分光光度計原子吸收光度計熒光分光光度計

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詳細介紹

日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

特點

標配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動校正功能）
搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）
采用全新構(gòu)造的機體外殼蓋
配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*

*選項

高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器

以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術為基礎，進行優(yōu)化，進一步實現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性。
此外，還更新了鏡體，電源系統(tǒng)和樣品臺，以支持觀察亞?圖像，并提升了機械和電氣穩(wěn)定性，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用。

不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭，而且自動像差校正功能可以實現(xiàn)快速校正，從而易于發(fā)揮設備的固有性能。使像差校正可以更實用。

日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強度曲線分布（右下）、FFT功率譜（右上）

支持高立體角EDX的對稱Dual SDD

支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器，以實現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進行EDX元素分析。
由于第二檢測器位于第一檢測器的對面位置，因此，幾乎不會因為樣品傾斜，導致X射線中的信號檢測量發(fā)生變化。所以，即使是結(jié)晶性樣品，也不用顧忌信號量，可按照樣品的方向與位置進行元素分析。
此外，對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品，除了原子列映射，在低倍、廣視野的高精細映射等領域也極為有效。

日立電子顯微鏡聚光鏡球差電鏡

GaAs（110）的原子柱EDX映射

像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時觀察

配有標配二次電子檢測器，可同時觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，可以掌握樣品的三維構(gòu)造。
在像差校正SEM圖像中，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實地樣品表面圖像

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特點

高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器

支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*

像差校正SEM圖像/STEM圖像 同時觀察

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支持高立體角EDX的對稱Dual SDD

像差校正SEM圖像/STEM圖像　同時觀察