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半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀
簡要描述：

半導(dǎo)體設(shè)備XHEMIS TX-3000V理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀
半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀

內(nèi)置 VPD 的 TXRF 光譜儀
超快速金屬污染測繪
VPD 的最高靈敏度

兼容最大 300mm 晶圓

  • 產(chǎn)品型號：XHEMIS TX-3000V
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-09-29
  • 訪  問  量：182

詳細介紹

半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀

半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku反射熒光X射線光譜儀


XHEMIS TX-3000V 概述

典型元素的檢測限 (LLD)

檢測限LLD（E10原子/cm2）鋁鐵鎳銅
發(fā)射光譜140.060.060.09
VPD-TXRF0.10.0010.0010.002

測量時間：1000秒  


XHEMIS TX-3000V規(guī)格

方法帶氣相分解 (VPD) 的全內(nèi)反射 X 射線熒光分析 (TXRF)
目的用于測量超痕量元素表面污染的
1E7 原子/cm2 檢測限繪圖速度
提高約 3 倍
技術(shù)集成自動 VPD 準備、三光束激發(fā)和自動光學(xué)交換
主要部件3 探測器配置
高功率 W 對陰極 X 射線源（9 kW 旋轉(zhuǎn)對陰極）
針對輕元素、過渡元素和重元素優(yōu)化的 3 種激發(fā)能量
XYθ 樣品臺
雙 FOUP 負載端口
特征全晶圓測繪 (SWEEPING-TXRF)
零邊緣排除 (ZEE-TXRF)
用于硅晶圓的集成自動 VPD 預(yù)處理 (VPD-TXRF)
雙 FOUP 裝載端口，實現(xiàn)最高靈敏度
選項背面分析 (BAC-TXRF)
GEM300 軟件、E84/OHT 支持
氣相處理以提高靈敏度，同時保留空間信息 (VPT-TXRF)
用于親水晶圓表面（例如 SiC）的 VPD
機身尺寸1280（寬）x 3750（深）x 2040（高）
（不含監(jiān)視器和信號塔）
測量結(jié)果定量結(jié)果、光譜圖、彩色等高線圖、映射表





































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