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HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀
簡要描述:

HOBIBA堀場CS-620F原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀
HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

  • 產(chǎn)品型號:CS-620F
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-02-12
  • 訪  問  量:122

詳細(xì)介紹

HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

CS-620F 系列

磷酸濃度監(jiān)測儀,無需冷卻即可實時測量高溫磷酸。

非常適合管理磷酸濃度,主要用于 3D NAND 閃存 SiN 層的蝕刻工藝*1,這是半導(dǎo)體制造工藝的一部分。
*1 SiN 層:在硅晶片和類似襯底上形成的由硅和氮化合物組成的薄膜。

產(chǎn)品名稱化學(xué)溶液監(jiān)測儀
CS-620F 系列
測量原理吸收光譜法
計算原理溫度補償型多變量分析
樣本H3采購訂單4/小時2O

可測量范圍
重復(fù)性


元件可測量范圍
(mass%)
重復(fù)性
(mass%)
模擬輸出
范圍(質(zhì)量%)
第 1 個解決方案H3采購訂單485.00-92.00+/-0.1085.00-100.00
H2O8.0-15.0+/-0.30.0-15.0
? 重復(fù)性由平均值(1 小時)的最大誤差定義。
? 使用相同化學(xué)品進(jìn)行低溫測量 (140°C) 和高溫測量 (170°C) 時,
可能會有差異(最大 +/- 0.30%)。
測量條件
1) 測量間隔:約 3 秒(最?。?br _istranslated="1" style="box-sizing: border-box;"/>2) 移動平均:16 次
連接配件尺寸1 英寸或 3/4 英寸
樣品條件樣品溫度:140 至 170°C
大氣溫度、化學(xué)溫度波動:+/- 1°C 以內(nèi)(時間:1 小時)
輸入壓力:0.2 MPa 或更低
壓力波動:0.02 MPa 或更低
流量:1 至 30 L/min
空氣(用于作和吹掃)連接端口:4 mm 外徑快速接頭
壓力:0.2 MPa ± 0.02 MPa
電源100 至 230 V AC(單相),50/60 Hz
功耗約 85 VA(不包括啟動時的瞬態(tài)電流)
通信并行 I/O、RS-232C、模擬輸出
尺寸(監(jiān)視器) 200 (W) × 308 (D) × 78 (H) mm
(燈單元) 200 (W) × 262 (D) × 100 (H) mm
(樣品池) 240 (W) × 209 (D) × 205 (H) mm
重量(監(jiān)視器)約 3.6 kg
(燈單元) 約 2.8 kg
(樣品池) 約 3.0 kg
環(huán)境溫度(監(jiān)視器、燈單元) 20 至 30°C
(光纖、樣品池) 20 至 100°C
* 應(yīng)避免溫度突然變化,在 +/- 1°C/1 小時內(nèi)
環(huán)境濕度(顯示器、燈單元) 40 至 70%(應(yīng)無結(jié)露)
安裝傾斜角度(顯示器、燈單元)+/-1 度
以內(nèi)(樣品池) 請安裝,以免氣泡停留。
光纖長度: 5 m, 彎曲半徑: R150 mm


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