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HORIBA堀場全新混合注入系統(tǒng)液體汽化器
簡要描述：

HORIBA堀場全新MV-2000混合注入系統(tǒng)液體汽化器
HORIBA堀場全新混合注入系統(tǒng)液體汽化器

  • 產(chǎn)品型號：MV-2000
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2025-02-19
  • 訪  問  量：173

詳細介紹

HORIBA堀場全新混合注入系統(tǒng)液體汽化器

HORIBA堀場全新混合注入系統(tǒng)液體汽化器

MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器

MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k"工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

模型MV-2000
液體材料除腐蝕不銹鋼的液體（例如 HCl、HF）之外的所有液體
設(shè)定溫度按汽化條件（控制閥：最高140 ?C 汽化器：最高200 ?C）
泄漏完整性≤1×10-8Pa·m3/s（He）
內(nèi)漏標(biāo)準(zhǔn)≤1×10-6 Pa·m3/s（He）
接觸液體的部件不銹鋼316L
溫度傳感器K 型熱電偶 (CA)
耐壓性1兆帕（氣壓）
標(biāo)準(zhǔn)配件液體入口：1/8 VCR 型外螺紋 載氣入口：1/4 VCR 型內(nèi)螺紋 氣體出口：1/2 VCR 型外螺紋
工作溫度15 - 50 攝氏度
選項氣閥（內(nèi)漏標(biāo)準(zhǔn)：≤1×10-9 Pa·m3/s(He)）

HORIBA堀場全新混合注入系統(tǒng)液體汽化器

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