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日本HORIBA堀場原裝自動供液系統(tǒng)玉科嚴(yán)選
簡要描述:

日本HORIBA堀場原裝LU-A1000自動供液系統(tǒng)玉科嚴(yán)選
日本HORIBA堀場原裝自動供液系統(tǒng)玉科嚴(yán)選

  • 產(chǎn)品型號:LU-A1000
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-02-19
  • 訪  問  量:159

詳細(xì)介紹

日本HORIBA堀場原裝自動供液系統(tǒng)玉科嚴(yán)選

日本HORIBA堀場原裝自動供液系統(tǒng)玉科嚴(yán)選

LU 系列自動供液系統(tǒng)

LU 系列以不間斷、安全和可靠的方式將液態(tài)化學(xué)品輸送至液體材料烘烤系統(tǒng)和注入系統(tǒng)。這增加了正常運行時間,減少了操作人員手動操作和制程污染的風(fēng)險。

LU 系列提供自動執(zhí)行殘余液體清洗程序的功能。

使用 LU 系列提高了供液能力和保養(yǎng)效率。

  • 蒸汽壓力監(jiān)視功能作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可在更換母罐期間檢查吹掃效率

  • 可選配稱重傳感器,監(jiān)視母罐中殘余液體總量

  • LU-A1000 系列設(shè)計緊湊,采用集成氣體系統(tǒng),與傳統(tǒng)配件相比,可顯著減小尺寸

  • 日常維護(hù)時輕松更換部件

  • 脫氣器模塊為標(biāo)準(zhǔn)配置,可降低液體鼓泡風(fēng)險,適用于各種汽化系統(tǒng),包括注入和烘烤應(yīng)用

  • 安全標(biāo)準(zhǔn):SEMI S2/S8/S14, CE 標(biāo)志

  • 安全改善:多樣化的監(jiān)視設(shè)備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關(guān)機功能,一旦系統(tǒng)出現(xiàn)故障,該功能將被啟動

  • 可操作性改進(jìn):操作步驟全自動化,防止操作失誤。操作也可以通過設(shè)備前端的觸控面板來控制

模型

LU-A1000 系列

支持液體

TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS

供給方式

氦氣的壓力運動

供氣壓力

壓力移動用:0.3~0.6 MPa(G);清洗用:0.3~0.6 MPa(G),OP N 2 0.6~0.7 MPa(G)

坦克

最大可連接 5 加侖容器(超出生產(chǎn)范圍)

手術(shù)

使用供給系統(tǒng)的外部信號自動供給/停止

操作區(qū)顯示詳情

壓力誤差顯示;報警時:顯示保持功能(手動復(fù)位);液位顯示;順序等。

燃?xì)膺B接

參考基本流程

電源

交流 100 至 240 V,50/60 Hz,300 VA

電力連接

AC 100 至 240 V 斷路器連接,信號插座

外形尺寸

參見外形尺寸圖


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